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深圳市天鉉真空技術有限公司
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ALICAT質量流量控制器 21V系列帶集成截止閥

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更新時間：2025-03-18 19:19:38瀏覽次數：605次

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應用及案例●大學/研究所●真空行業及鍍膜●半導體●光伏●過程工藝氣體測量產品特色數字化產品帶氣動截止閥

 

應用及案例

 

 

● 大學/研究所
● 真空行業及鍍膜
● 半導體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量

 

產品特色

 

數字化產品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
可選高精度：可優于0.5%
 量程比 200:1
響應時間快 僅需100ms(可調)
內置98種氣體
現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

 

 

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