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尼康光刻機UGRMEM-01SNQ12電機控制器
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901 Plus (901P) 負載鎖定傳感器 (LLT) 專為負載鎖定環境而設計，結合了壓電和微型皮拉尼™ 真空傳感器技術。與傳統的熱導率計相比，組合輸出提供了更高的精度、穩定性、可重復性和更快的響應時間。
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產品簡介：
瑞士INFICON PEG100潘寧真空計，這款堅固的潘寧冷陰極電離真空計可準確測量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空壓力。 還有現場總線可供選擇。
PEG100潘寧真空計 的詳細介紹
INFICON PEG100潘寧真空計提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現單絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低，潘寧真空計還可在濺射應用環境下運行。 現場總線選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議，將真空計輕松集成到真空系統中。
PEG100潘寧真空計益處：
測量范圍廣，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
創新的電極幾何形狀提供***的點火屬性
等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中
陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
***小化真空計附近的磁場強度
用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
對數模擬輸出信號
現場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中
PEG100潘寧真空計典型應用：
高真空壓力監控
蒸發濺射系統
高真空范圍內的一般真空測量和控制
PEG100潘寧真空計選型指南：
PEG100零件號說明351-000 351-002 351-003 351-004 351-005
| 真空計 |
| PEG100-P 規管 |
| PEG100D 型真空計 |
| PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
| PEG100-P 規管 |
備件
PEG100零件號說明351-490
| 陰極片 |
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