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圓型磁控濺射陰極

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更新時間：2022-11-14 13:48:11瀏覽次數：210次

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產品簡介

圓型磁控濺射陰極：我們的圓形磁控濺射陰極作為已成為*的新標準，具有的技術優勢

詳細介紹

圓型磁控濺射陰極：

我們的圓形磁控濺射陰極作為已成為*的新標準，具有的技術優勢。

    多功能，緊湊型設計
    兼容各種形式的電源
    低阻抗頭提供了射頻，直流，中頻直流，直流脈沖，微波電源的兼容性。

標準配件
    我們使用ISO標準配件，以及金屬密封法蘭。所有附件的維護部分處于大氣中，并使用標準的O形圈密封，易于安裝及維護。

尺寸齊全
    圓形磁控陰極可選從1到16英寸直徑的規格，標準或自定義配置。

快速，簡便的更換靶材
    我們的螺紋式靶材卡環和陽極屏蔽罩允許你不使用輔助工具即可更換靶材。他們內置的可調節性也可以讓你輕松適應不同厚度的靶材。

高真空度，高功率
    磁控管可以在極低的壓力（10-4 Torr）的范圍內操作，的直接冷卻設計，可提供功率密度高達250 watts/in2 ( 30 watts/cm2 ) 。

高濺射速率，高性能
    更高的功率密度，濺射速率更快。在保持高濺射速率的同時，鍍膜面積和靶材利用率（通常在40％的范圍內）

優秀的均勻性
    由于我們的異型磁鐵，我們的磁控管也提供更大的沉積均勻性 - 經常在± 3-5 ％的范圍內。

*
    所有的磁控陰極對做工和用料的缺陷保修兩年。磁控陰極是我們的核心業務，我們隨時準備著以確保您的滿意度。