德國PI納米定位平臺(tái)P-561采用電容式傳感器

自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸組合的各種定位平臺(tái)和致動(dòng)器。從精密機(jī)械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開發(fā)的壓電陶瓷和致動(dòng)器。我們開發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應(yīng)用版本。

主要產(chǎn)品：

PI納米定位壓電撓性平臺(tái)

PI微型位移臺(tái)

PI線性位移臺(tái)

PI線性致動(dòng)器

PI旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)

PI六足位移臺(tái)

P-733.3 XYZ 壓電納米定位儀 帶孔徑的高精度 XYZ 掃描儀

X 和 Y 移動(dòng)范圍達(dá) 100 µm × 100 µm，Z 移動(dòng)范圍達(dá) 10 µm

采用電容式傳感器，分辨率達(dá) 0.1 納米

直接驅(qū)動(dòng)的高速版本

可根據(jù)要求提供超高真空兼容型和非磁性型

平行運(yùn)動(dòng)學(xué)，實(shí)現(xiàn)更高的精度和動(dòng)態(tài)性能

零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng)

并行計(jì)量，主動(dòng)補(bǔ)償導(dǎo)向誤差

50 mm × 50 mm 透明孔徑，適用于透射光應(yīng)用

P-561 - P-562 - P-563 PIMars 納米定位平臺(tái) 多達(dá) 3 軸的高精度納米定位器

X 軸和 Y 軸平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，響應(yīng)時(shí)間更快，多軸精度更高

行程范圍達(dá) 300 × 300 × 300 µm

采用電容式傳感器，線性度高

零間隙和高精度撓性導(dǎo)軌

出色的掃描平面度

高動(dòng)態(tài) XYZ 版本

66 mm × 66 mm 凈空

采用 PICMA® 壓電執(zhí)行器，使用壽命長

超高壓版本可達(dá) 10-9 hPa

型號(hào)示例：

PI納米定位平臺(tái)P-616

PI納米定位平臺(tái)P-611.3

PI納米定位平臺(tái)P-733.3

PI納米定位平臺(tái)P-561

PI納米定位平臺(tái)P-562

PI納米定位平臺(tái)P-563

PI納米定位平臺(tái)P-517

PI納米定位平臺(tái)P-527

PI納米定位平臺(tái)P-518

PI納米定位平臺(tái)P-528

德國PI納米定位平臺(tái)P-561采用電容式傳感器