日韩毛片在线视频-日韩毛片在线影视-日韩美aaa特级毛片-日韩美a一级毛片-久久夜夜操妹子-久久夜夜肉肉热热日日

行業產品

  • 行業產品

上海德竹芯源科技有限公司


當前位置:上海德竹芯源科技有限公司>>半導體工藝設備>>熱蒸發鍍膜系統

熱蒸發鍍膜系統

返回列表頁
參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

聯系方式:查看聯系方式

更新時間:2024-08-09 07:53:03瀏覽次數:61次

聯系我時,請告知來自 儀表網

經營模式:其他

商鋪產品:167條

所在地區:上海上海

產品簡介

在真空環境下用熱阻絲加熱的方式將材料加熱到蒸發,真空腔室內的基片和襯底表面會形成薄膜或涂層,此過程被稱為真空熱蒸鍍,加熱材料的方式主要有熱舟式和坩堝式。

詳細介紹

熱蒸發鍍膜

Thermal Evaporation

在真空環境下用熱阻絲加熱的方式將材料加熱到蒸發,真空腔室內的基片和襯底表面會形成薄膜或涂層,此過程被稱為真空熱蒸鍍,加熱材料的方式主要有熱舟式和坩堝式。


真空熱蒸發原理圖


由于受到熱阻絲加熱溫度的限制,熱舟蒸發鍍膜僅僅適用于低熔點和合適蒸氣壓的材料,例如常用的導電金屬,Au, Cu, Al, Ag 等,離子化合物,LiF, MgF2 等。熱舟的材質和形狀(容量)需根據應用場景來選擇。客戶也可根據特殊的材料體系來設計特殊的蒸發舟。

熱舟選型


除了熱舟蒸發之外,還可選擇坩堝式蒸發源,坩堝式蒸發源的特點是,容量大 ,適用于較低蒸發溫度的材料,例如有機物蒸發,廣泛被應用于OLED,OPV,薄膜鋰電池,鈣鈦礦太陽能電池等熱門領域。




熱舟蒸發和坩堝式熱蒸發


系統的自動控制采用的是石英晶振自動控制的 Rate Control 鍍膜機制,在整個薄膜形成過程中,蒸發速率是恒定的,在累積到目標薄膜厚度時,系統會自動結束鍍膜,以實現厚度的精確控制。

Rate control 原理


根據客戶不同的真空度要求,我們可定制真空系統,其中包括高真空版本(5 × 10-7 Torr),近超高真空版本(5 × 10-9 Torr),以及超高真空版本(5 × 10-10 Torr),以滿足不同應用領域和薄膜質量的需求。對于基底材料的特殊要求,我們可提供不同功能的樣品臺,可實現加熱、循環水冷卻、液氮冷卻和等離子體清洗。


加熱型樣品臺


冷卻型樣品臺


多片樣品臺


樣品臺偏壓


有機鍍膜應用,通過手套箱互聯


有機鍍膜應用,通過真空傳送腔互聯


應用領域:

低熔點金屬薄膜電極,低熔點離子化合物電極

透明電極

OLED/QLED/Micro-LED

有機太陽能電池

有機鈣鈦礦太陽能電池

有機傳感器

硫化物

紅外傳感器


應用展示:



配置選型:


配置特點:

腔體尺寸:根據鍍膜基片尺寸、數量和鍍膜距離確定

樣品尺寸:156 × 156 mm, 200 × 200 mm, 300 × 300 mm

極限真空優于 5 × 10-7 Torr(從大氣環境開始抽真空,2小時之內可達到)可定制真空度要求

蒸發源:熱舟式,坩堝式

全自動鍍率控制石英晶振監控,可根據鍍率反饋功率控制

基片可選加熱:Max.300℃ / 500℃ / 800℃

基片可選水冷,同時可旋轉

可配備快速進樣室

可與手套箱集成,支持多種集成方式

支持多腔體互聯,也可與其他鍍膜技術集成(磁控濺射、電子束蒸發)

可借助手套箱互聯PEALD系統,實現低溫條件下器件的薄膜封裝

* 若有小試,中需求,可聯系我們了解線性蒸發機臺

配置選型:

常用配置和選型


配置特點:

腔體尺寸:根據鍍膜基片尺寸、數量和鍍膜距離確定

樣品尺寸:156 × 156 mm, 200 × 200 mm, 300 × 300 mm等

極限真空優于 5 × 10-7 Torr(從大氣環境開始抽真空,2 小時之內可達到)可定制真空度要求

蒸發源:熱舟式,坩堝式

全自動鍍率控制石英晶振監控,可根據鍍率反饋功率控制

基片可選加熱:Max. 300℃ / 500℃ / 800℃

基片可選水冷,同時可旋轉

可配備快速進樣室

可與手套箱集成,支持多種集成方式

支持多腔體互聯,也可與其他鍍膜技術集成(磁控濺射、電子束蒸發)

可借助手套箱互聯PEALD系統,實現低溫條件下器件的薄膜封裝

* 若有小,中需求,可聯系我們了解線性蒸發機臺

其他推薦產品更多>>

感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

儀表網 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://m.t-block.cn,All rights reserved.

以上信息由企業自行提供,信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責,儀表網對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示:為規避購買風險,建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
主站蜘蛛池模板: 播9公社在线精品中文字幕 波少野结衣色在线 | 精品国产夜色在线 | 狠狠色狠狠色综合系列 | 亚洲乱亚洲乱妇13p 亚洲乱码尤物193yw在线播放 | 免费一级欧美大片在线观看 | 一区二区在线视频 | 日本黄色免费在线 | 德国最新精品性hd | 香蕉视频黄网站 | 成人永久免费 | 午夜视频在线观看国产www | 欧洲成人在线视频 | 国产精品福利久久2020 | 国产精品香蕉一区二区三区 | 在线观看黄日本高清视频 | 三级黄色毛片 | 亚洲福利区 | 麻豆大豆行情一区 | 一级a级国产不卡毛片 | 伊人网大 | 亚洲午夜久久久精品影院视色 | 18在线观看免费入口 | 亚洲爽 | 国产 欧美 在线 | 99国产成人高清在线视频 | 最好看2019高清中文字幕 | 97免费在线 | 欧美人成在线观看 | 天天舔天天操天天干 | 欧美综合区自拍亚洲综合图区 | 一一本大道香蕉大无l吗 | 婷婷成人综合 | 狠狠干一区 | 天天噜噜揉揉狠狠夜夜 | 黄网站色视频免费观看w | 欧美日韩无 | 波多野结衣久久精品 | 男女晚上黄羞羞视频播放 | 91精选视频在线观看 | 日韩系列第一页 | 久草新免费 |