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上海德竹芯源科技有限公司


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等離子體光譜儀/OES/PES

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-08-10 07:34:46瀏覽次數:144次

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經營模式:其他

商鋪產品:167條

所在地區:上海上海

產品簡介

等離子體光譜儀器Crookesl,針對半導體等離子體工藝設備開發,兼具原位監控和譜線分析功能,解決等離子體工藝穩定度監控,等離子體工藝過程監控,等離子體工藝實時反饋控制,適用于等離子體工藝相關的工藝研發和產線監控。

詳細介紹

設備原理

通過搜集原子發射光譜并分析特征波段/波長的譜線實現對等離子體的監控和反饋控制。


設備構成

等離子體發光光譜儀

高性能光譜儀,覆蓋紫外到紅外波段,精度/靈敏度根據工藝需求選擇,可檢測絕大部分微加工制備工藝涉及的元素。

等離子體監控&分析軟件

針對反饋控制,終點檢測,穩定性監控等多種工藝需求定制,可實時顯示光譜變化三維圖,優化積分算法處理判定。根據用戶自定義添加的光譜數據庫。

光學系統集成

可定制化系統集成,真空外檢測和真空內檢測多種集成方式,防鍍膜設計光學探頭。


主要功能和特色

實時等離子體光譜采集,全數據時域&頻域光譜分析

自動譜圖尋峰及原子譜線數據庫匹配

等離子體光譜單一&連續波段積分強度監視

Recipe編譯/執行操作模式



主要應用

等離子體刻蝕終點檢測(IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE

等離子體穩定度均勻度檢測(大面積離子源,腔內等離子體分布)

等離子體反應氣體組分控制(反應濺射沉積,HiPimsPECVDPlasma CleanATM Plasma

高精度等離子體光譜檢測儀

高信噪比離子體光譜監測儀

多通道等離子體光譜監測儀

主機型號

CrookesI

CrookesI-Pro

CrookesI-Trident

通道數量

1

1

3

光譜波長范圍

200 ~ 1100 nm

220 ~ 980 nm

200 ~ 1100 nm

光譜分辨率

1.3 nm

1.8 nm

1.3 nm / 1.8 nm

波長精度

0.12 nm

0.2 nm

0.12 nm/ 0.2 nm

信噪比

500 : 1

1000 : 1

500 : 1 / 1000 : 1

I/O接口

2 路模擬輸出、4 路模擬輸入、8 路數字輸入輸出

計算機通信接口

GPIB / RS232 / USB

尺寸

195 × 275 × 90 mm3

重量

2.5 kg

2.5 kg

3.5 kg

用電

單相 220 V, 5 A

關鍵詞:光譜儀
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