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上海德竹芯源科技有限公司


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iSPRAY-300 半自動噴膠機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-08-11 07:43:08瀏覽次數:136次

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商鋪產品:167條

所在地區:上海上海

產品簡介

針對具備高度結構化晶圓形貌、深度 MEMS 結構或不平整表面特征的基板,SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機,適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝,主要被應用于研究與開發實驗室,尤其是 MEMS 加工的試產和小量產場合。 經過工藝優化的噴嘴能夠結合低粘度的、特別適用于噴涂作業的光刻膠生成精細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴嘴經由“弓"字型行進路徑進......

詳細介紹

產品功能

可編程,最多 50 個程序

最多可同時噴涂 4 個晶基板

適用于重復工藝的快速啟動功能

觸摸屏面板控制,方便用戶程序配置

工藝參數:噴嘴行進路徑,噴灑臂速度,噴灑時間,錐形束形狀電氣驅動的噴灑臂,其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選

可調整的噴嘴,具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能

用于計量壓縮空氣和檢查真空度的指示元件

手動裝卸基板


性能參數

噴灑臂的速度和定位精度: 0.4 m/s,±0.1 mm

每個分段的噴灑時間:最長為 9999 秒,調節步幅為 0.1 秒

噴灑循環的數目:最多 20 個曲回循環

環境溫度:+4 至 +60°C

圓形或方形基板

適用 300 mm 的晶圓或 12×12 英寸的基板


關鍵詞:觸摸屏
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