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510 晶圓鍵合系統(tǒng)

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產品型號

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更新時間:2024-08-12 07:29:42瀏覽次數(shù):147次

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產品簡介

EVG 510 是一款高效率的微結構光刻機。主要用于多層芯片制造,特別適用于需要高精度、高效率、低成本和高產量的高科技領域。

詳細介紹

EVG 510 晶圓鍵合系統(tǒng)一款高效率的微結構光刻機。主要用于多層芯片制造,特別適用于需要高精度、高效率、低成本和高產量的高科技領域。這些領域包括半導體、通信、生物醫(yī)學、照明等。該系統(tǒng)的主要參數(shù)包括:處理尺寸,光源類型,分辨率,光強,光譜范圍等。每個參數(shù)都是關鍵因素,決定了系統(tǒng)的性能和生產效率。


主要特點及參數(shù)

高精度:系統(tǒng)具有高精度,可生產出精細的微結構,使樣品質量得到顯著提高

高效率:系統(tǒng)具有高效率,可以加速生產周期,提高生產效率

應用領域:主要應用于半導體、生物醫(yī)學、光電子等領域,適用于制造微納光學、微電子、生物醫(yī)學等產品

主要參數(shù):系統(tǒng)的主要參數(shù)包括光譜范圍、光斑大小、鍵合深度、光功率、精度等

EVG 510 晶圓鍵合系統(tǒng)具有易于操作和維護的優(yōu)點,并配備了的技術和功能,以滿足客戶的不同需求。此外,該系統(tǒng)還具有靈活的擴展性和升級性,可以根據(jù)客戶的需求定制不同的配置方案。該系統(tǒng)是生產各種微結構產品的理想選擇,具有很高的價值


EVG 510 晶圓鍵合系統(tǒng)的工藝過程主要包括以下步驟:

1. 裝載芯片:將待處理的芯片裝載到系統(tǒng)內的工作臺上

2. 鍵合前準備:在鍵合前,系統(tǒng)會根據(jù)預先設置的參數(shù)對芯片進行預處理,以確保鍵合過程中的良好效果

3. 鍵合:使用光源將兩層芯片鍵合在一起,以形成多層芯片

4. 鍵合后處理:鍵合后,系統(tǒng)會對芯片進行后處理,以確保其質量

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