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620NT 光刻機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-08-12 07:30:46瀏覽次數(shù):169次

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經營模式:其他

商鋪產品:167條

所在地區(qū):上海上海

產品簡介

EVG 620NT 光刻機主要應用于半導體、微電子、光電、生物醫(yī)療等領域,用于生產精密電子元件、微型機械元件和光學元件等。

詳細介紹

主要特點及參數(shù)

高效率:采用的光學技術,縮短了生產周期,提高了生產效率

高精度:通過對光學系統(tǒng)的精細調整,保證圖像的精確性

易操作:系統(tǒng)控制簡單方便,易于生產操作

備安全:系統(tǒng)采用安全設計,確保生產過程中的人員和設備安全

技術支持:提供專業(yè)的技術支持和售后服務,保證系統(tǒng)的正常使用

光刻材料:支持多種光刻材料,包括硅片、玻璃片、聚碳酸酯等

半導體工藝:支持常用的半導體工藝,如薄膜沉積、光刻、蝕刻等

光刻工具:支持常用的光刻工具,如光刻掩膜、光刻模板等

分辨率:可達到 100 nm

工作面積:620 mm × 620 mm

光源:KrF 激光

光路系統(tǒng):F-Theta 鏡


EVG 620NT 光刻機的工藝過程大致如下:

1. 材料準備:選擇適當?shù)墓饪滩牧希绻杵⒉A龋M行表面處理

2. 掩膜制作:根據生產要求,制作光刻掩膜,并確保掩膜的精確性

3. 樣品處理:將樣品固定在工作臺上,并確保樣品的穩(wěn)定性

4. 光刻操作:打開光刻機,根據生產要求,對樣品進行光刻處理

5. 樣品檢查:檢查樣品的質量,確保其符合生產要求

分辨率:可達到 100 nm

工作面積:620 mm × 620 mm

光源:KrF 激光

光路系統(tǒng):F-Theta 鏡

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