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上海德竹芯源科技有限公司


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610 光刻機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2024-08-12 07:31:50瀏覽次數(shù):178次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:167條

所在地區(qū):上海上海

產(chǎn)品簡介

EVG 610 光刻機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光電、生物醫(yī)療等領(lǐng)域,在生產(chǎn)精密電子元件、微型機(jī)械元件和光學(xué)元件等方面有著廣泛的應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)及參數(shù)

高分辨率:可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量圖像制作,提高半導(dǎo)體器件的性能

靈活性:適用于各種不同類型的器件,如MEMS、晶體管和圖像傳感器等

高效率:采用的光學(xué)和機(jī)械技術(shù),可在短時(shí)間內(nèi)完成大量生產(chǎn)任務(wù)

高精度:采用高精度光學(xué)系統(tǒng)和控制技術(shù),保證圖像的精確性和一致性

穩(wěn)定性:通過對光路的精細(xì)調(diào)整和控制,保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性

安全性:通過安全保護(hù)系統(tǒng),保證生產(chǎn)過程的安全

分辨率:每英寸可達(dá)到 130 nm

工作面積:610 mm × 610 mm

光源:KrF 激光

光路系統(tǒng):F-Theta 鏡片

系統(tǒng)控制:通過軟件控制,提供方便快捷的生產(chǎn)操作


EVG 610 光刻機(jī)的工作過程如下:

1. 進(jìn)料:將待制作的半導(dǎo)體器件通過輸送系統(tǒng)送入光刻機(jī)

2. 光學(xué)對準(zhǔn):通過光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)將待制作的器件與光學(xué)系統(tǒng)對齊

3. 曝光:使用 KrF 激光對器件進(jìn)行曝光,形成圖像

4. 開發(fā):使用開發(fā)液對曝光后的圖像進(jìn)行處理,形成最終圖形

5. 刻蝕:將圖形轉(zhuǎn)移到器件表面,形成最終的半導(dǎo)體元件

6. 出料:將制作完成的半導(dǎo)體元件通過輸送系統(tǒng)送出光刻機(jī)

分辨率:每英寸可達(dá)到 130 nm

工作面積:610 mm × 610 mm

光源:KrF 激光

光路系統(tǒng):F-Theta 鏡片

系統(tǒng)控制:通過軟件控制,提供方便快捷的生產(chǎn)操作

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