直線壓電馬達、360 度旋轉(zhuǎn)壓電馬達、壓電螺釘促動器、壓電鏡架、壓電調(diào)平臺、壓電搖擺臺、壓電調(diào)平臺、壓電馬達偏轉(zhuǎn)鏡、六軸壓電馬達平臺、壓電馬達控制器。

N11 系列直線壓電馬達

N11 系列直線壓電馬達采用粘滑原理，將 PZT 壓電陶瓷的微運動轉(zhuǎn)換為毫米級長行程。它的體積非常小巧，僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達 3.6mm，非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。

特點

• 行程可達 3.6mm • 一至三維可選 • 體積小、重量輕 • 速度可達 2mm/s • 斷電自鎖

應(yīng)用

• 超分辨成像樣品移動 • 微納裝備及制造 • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱 • 納米聚焦與掃描 • 主動光學(xué) 

• 集成電路制造與檢測 • 顯微及納米 CT • 大范圍電子束直寫（EBL） • 高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿

N31 系列直線壓電馬達

N31系列直線壓電馬達，內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，直線運動行程可選6、10、25、50、100mm，可達亞納米級分辨率。可選配閉環(huán)伺服傳感器（光柵傳感器），具有更高的定位精度。

可選移動臺面。

特點

• 大出力 • 閉環(huán)誤碰后自動歸位 • 可軟件操作自動找零位 • 可選光柵數(shù)字閉環(huán) • 采用耐磨材料 • 可選二 / 三維 • 可定制真空版本

N31 系列三維閉環(huán)壓電馬達

N31 系列三維閉環(huán)壓電馬達可在 XYZ 三個方向運動，配備有光柵傳感器進行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動，每軸運動行程可選 25、50、100mm，可達納米級分辨率。

特點

• 行程 25、50、100mm/ 軸可選 • 納米級分辨率 • 承載達 2.5kg • 光柵傳感器

應(yīng)用

• 超分辨成像樣品移動 • 微納裝備及制造 • 掃描電鏡（SEM）樣品操縱 • 納米聚焦與掃描 • 主動光學(xué)

• 集成電路制造與檢測 • 顯微及納米 CT • 大范圍電子束直寫（EBL） • 高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿

N56 系列直線壓電馬達

N56 系列直線壓電馬達是采用壓電微驅(qū)動技術(shù)，即利用壓電微位移致動器實現(xiàn)高精度定位和運動的技術(shù)，將壓電陶瓷在一定電場作用下的微變形量，經(jīng)過結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換，輸出宏動直線毫米級行程。

特點

• 壓電驅(qū)動 • 高分辨率 • 行程可達 50mm • 小體積 • 可選二、三維運動版本 • 開 / 閉環(huán)、真空版可選

應(yīng)用

• 小負載、大行程納米定位 • 科學(xué)研究 • 光纖對接 • 微細加工 • 原子力顯微鏡 • 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作

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