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P73.Z500系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線運動范圍可達550μm，采用柔性鉸鏈設計機構，無摩擦、運動直 線性好且閉環型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領域。
螺紋適配器便于安裝
P73物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。
大行程、響應速度快、分辨率高
P73壓電物鏡定位器是大行程、高速、壓電陶瓷驅動的聚 焦顯微掃描裝置，產品體積小但可實現的位移高達550μm。
P73采用柔性鉸鏈導向機構，無機械摩擦、無機械間隙、 納米級分辨率，具有超高的定位精度及超快的響應速度。
該系列壓電物鏡定位器具有大剛度、諧振頻率高等特 點，可以實現滿行程20ms的階躍時間，負載 150g后階躍時 間小于30ms且重復度達滿行程的0.05%F.S.。
P73壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡 等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與手動調節臺相結合 使用。
P73.Z500系列壓電物鏡定位器技術參數：
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型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P73.Z500S P73.Z500K |
單位 |
| 運動自由度 | Z |
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| 標稱行程范圍（0~120V） | 400 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V) | 550 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- |
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| 閉/開環分辨率 | 18/7 | nm | |
| 閉環線性度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 閉環重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
| 推/拉力 | 80/10 | N | |
| 運動方向剛度 | 0.2 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 170 | Hz±20% | |
| 閉/開環空載階躍時間 | 20/10 | ms±20% | |
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閉環空載工作頻率 | 10%行程 | 40 |
Hz±20% |
| 行程 | 10 | ||
| 大承載 | 0.4 | kg | |
| 靜電容量 | 14 | μF±20% | |
| 材質 | 鋼、鋁 |
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| 重量 | 450 | g±5% | |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
特性:
• 大行程550μm
• 大負載0.4kg
• 毫秒級響應時間
• 閉環重復定位精度高
• 聚焦穩定性好
典型應用
• 三維成像 • 干涉/計量 • 生物科技
• 表面結構分析 • 共焦顯微 • 半導體測試
