P11.X一維X向壓電納米定位臺 100μm價格P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺，P11.X為一維壓電納米定位臺，平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體的結構設計，多維運動無耦合。 機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現100μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有控制精度，分辨率和穩定 性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結構緊湊 易于集成。

P11.X一維X向壓電納米定位臺 100μm價格

大行程、閉環版本定位精度高、響應速度快		傳感器類型	頻率負載曲線
P11系列納米定位臺采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷作為驅動源，可以實現1~3維100μm的精密運動。 該系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本， 閉環版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環壓電控制器可以實時對位移進行精密調整，實現納米級的精密定位控制。 P11系列壓電納米定位臺的響應速度快，配套E52系列壓電控制器可實現0.8ms的階躍時間。