P63.XY二維XY向壓電納米定位臺 6.8μm價格直驅式壓電平移臺，是二維XY軸運動壓電納米定位臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，在精密定位領域中發揮著重要的作用。

P63.XY二維XY向壓電納米定位臺 6.8μm價格

特性

• 1~3維自由組合                   • 位移行程6.8μm                   • 亞毫秒響應時間                   • 承載0.5kg                   •  重復定位精度可達納米級

小體積、高精度、響應速度快		傳感器類型	頻率負載曲線
P63系列壓電納米定位臺的特點是高精度、體積小巧，P63.XY二維壓電納米定位臺的尺寸僅為30×30×30mm（一維X軸運動壓電納米定位臺尺寸為30×30×21mm），非常易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺是高精度納米級定位系統，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有低慣性的特點，且響應時間可快至0.3ms，可選擇配置高精度閉環傳感器進行高分辨率的高速掃描。