XP-611.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 100μmXP-611.XYZ壓電納米定位臺為三維XYZ軸運動壓電平移臺，采用機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現XYZ三軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構無摩擦、無后坐力。可選擇閉環版本定位精度高，是三維精密定位與掃描的理想選擇。

XP-611.XYZ三維XYZ向運動納米平移臺，產品體積小巧，結構緊湊，是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長度校準、顯微或掃描應用中的樣品定位等。XP-611.XYZ為壓電驅動、無摩擦、柔性導向系統，實現納米級分辨率和毫秒的響應時間。

XP-611.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 100μm

特性

• 三維XYZ軸運動                   • 位移行程100μm                   • 小體積                   • 毫秒級響應速度                   •  納米級定位精度