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哈爾濱芯明天科技有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:哈爾濱芯明天科技有限公司>>壓電納米掃描臺系列>> XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺

超低溫真空無磁壓電掃描臺

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:XD106.XYZ60K

品       牌:芯明天

廠商性質:生產商

所  在  地:哈爾濱市

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更新時間:2025-02-24 12:27:55瀏覽次數:1359次

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楊先生

經理
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產地 國產 加工定制
超低溫真空無磁壓電掃描臺,是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環境應用而設計

超低溫真空無磁壓電掃描臺

由芯明天研發生產的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環境應用而設計,可進行XYZ三維掃描運動,采用低溫壓電驅動,耐低溫可達4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無磁材料,采用低溫雙絞線,以適應低溫環境下的使用。


超低溫真空無磁壓電掃描臺產品特點

· 低溫真空無磁,耐低溫可達4K

· XYZ三維運動

· 4K溫度下位移達30μm/軸

· 分辨率可達2nm

· 開環運動控制

· 響應速度快


產品應用

· 半導體加工


· 半導體檢測

· 高精密測試和操作

· 其他真空無磁要求的納米運動控制等


技術參數


型號
XD106.XYZ60K
運動自由度
X、Y、Z
驅動電壓
0~60V@常溫
0~150V@低溫4K
標稱行程范圍(常溫)
70μm/軸
@0~60V,常溫
標稱行程范圍(低溫)
30μm/軸
@0~150V,4K溫度
中心通孔直徑
10mm
分辨率
2nm
空載諧振頻率
X415/Y465/Z497Hz
帶載200g諧振頻率
XY105/Z229Hz
靜電容量
XY5.4μF,Z10.9μF
材質
承載能力
200g
重量
220g
使用方向
倒置使用

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