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N31系列三維壓電馬達
三維閉環壓電馬達可在XYZ三個方向運動，配備有增量式編碼器進行閉環控制。內部采用PZT壓電式驅動，每軸運動行程可選25、50、100mm，可達納米級分辨率。
產品特點
行程25、50、100mm/軸可選
納米級分辨率
增量式編碼器
承載達2.5kg
產品應用
超分辨成像樣品移動
微納裝備及制造
掃描電鏡（SEM）樣品操縱
納米聚焦與掃描
主動光學
集成電路制造與檢測
顯微及納米CT
大范圍電子束直寫（EBL）
高真空樣品精度對準及調姿
N31系列三維壓電馬達
