微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

• 介質要求

  潔凈干燥氣體
• 氣體種類

  98+氣體可選
• 量程

  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
  0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 測量范圍

  0.5%F.S.（1:200）
• 控制范圍

  1%-1  00% FS.（1:100）
• 準確度

  ±1% F.S.
• 重復精度

  ±0.2%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 控制響應時間

  <3 秒
• 預熱時間

  5 min（T95），30 分鐘
• 閥門

  常閉式