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MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
GM-502B空氣質量VOC傳感器采用MEMS工藝，結構堅固，抗震性好；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩定性好、壽命長等特點
GM-502B空氣質量VOC傳感器適用于室內空氣質量監測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內煙霧報警等。
| 氣敏元件特性 | 符號 | 標準值 | 小值 | 大值 | 單位 |
| 傳感器電阻 | R0 | – | 100 | 1500 | KΩ |
| 氣體（C2H5OH）檢測濃度 | FS | – | 1 | 500 | ppm |
| 靈敏度 | S50 | – | 1.2 | 50 | – |
注：1. R0 是在環境溫度23±5℃，環境濕度50±10%RH的標準工作條件下測得；
2. S50 即Rs(50ppm C2H5OH)/R0(in air)是在環境溫度23±5℃，環境濕度50±10%RH的條件下，傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。
| 條件 | 符號 | 參數范圍 | 單位 |
| 大加熱功率 | PH | 50 | mW |
| 回路電壓 | VS | 4.9 – 5.1 | V |
| 相對濕度范圍 | RH | 5 – 95 | %RH |
| 工作環境溫度 | Ta | -30 – 85 | °C |
| 儲存溫度范圍 | TS | -40 – 120 | °C |
| 儲存濕度范圍 | RH | 5 – 95 | %RH |
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