壓力開關(guān)傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電流/電壓的器件，可用于測(cè)量壓力、位移等物理量。壓力傳感器的種類很多，其中硅半導(dǎo)體傳感器因其體積小、重量輕、成本低、性能好、易集成等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛的應(yīng)用。硅壓阻式傳感器屬于其中的一種，它是在硅片上用擴(kuò)散或離子注入法形成四個(gè)阻值相等的電阻條，并將它們接成一個(gè)惠斯登電橋。當(dāng)沒有外加壓力時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)，電橋輸出為零。當(dāng)有外加壓力時(shí)，電橋失去平衡而產(chǎn)生輸出電壓，該電壓大小與壓力有關(guān)，通過檢測(cè)電壓，即可得到相應(yīng)的壓力值。但這種傳感器由于四個(gè)橋臂電阻不匹配而引起測(cè)量誤差，零點(diǎn)偏移較大，不易調(diào)整。
Motorola公司生產(chǎn)的X型硅壓力開關(guān)傳感器則可以克服上述缺點(diǎn)。與惠斯登電橋不同，Motorola磚利技術(shù)采用單個(gè)X型電阻元件，而不是電橋結(jié)構(gòu)，其壓敏電阻元件呈X型，因而稱為X型壓力開關(guān)傳感器。該X型電阻是利用離子注入工藝光刻在硅膜片上，并采用計(jì)算機(jī)控制的激光修正技術(shù)，溫度補(bǔ)償技術(shù)，使Motorola硅MPX系列壓力開關(guān)傳感器的精度很高，其模擬輸出電壓正比于輸入的壓力值和電源偏置電壓，具有的線性度，且靈敏度高，長(zhǎng)期重復(fù)性好。此系列中的MPX2100DP壓力傳感器是一種高精度硅壓式壓力傳感器，本系統(tǒng)采用MPX2100DP作為壓力開關(guān)傳感器，可以很好地滿足系統(tǒng)的要求，它具有如下特點(diǎn)：
①由于采用激光微調(diào)技術(shù)，使電橋零漂輸出很小，一般小于±1mV；
②傳感器靈敏度較高，為40mV±1.5mV；
③傳感器由熱敏電阻組成溫度補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)，在-40℃~ +125℃范圍內(nèi)有較好的溫度補(bǔ)償效果，從而提高了傳感器的精度；
④具有的線性度（±0.25%F.S）；
⑤有較寬的工作溫度范圍（-40℃~ +125℃）；
⑥允許過載大（400%）。
文章來源：上海卓盼電子科技有限公司
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