有人認為純凈水噴淋試樣是為了避免儀器內部的腐蝕，但它不是zui主要的原因，主要原因是超純凈水可保證清潔的測試條件及測試的重現(xiàn)性。
此外，如果不對水進行特別處理以除去陽離子、陰離子、有機物，尤其是硅，試樣表面就會產生污點，這在自然曝曬時是不會出現(xiàn)的。因此，噴淋水的固體物質及硅的含量應分別小于1μg/g和0.2μg/g。通常人們使用蒸餾或電離與反滲透相結合的方法來取得純凈水．
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