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結 構 特 點

• 單級式減壓結構
• 膜片與母體采用硬密封結構，并有二次密封保護
• 上蓋帶有多重密封保護和排放接口
• 母體接口：1/4" 面密封內螺紋
• 安全壓力：1.5 倍zui大使用壓力
• 輸入壓力：500 psi，1500 psi，3000 psi
• 輸出壓力：0-25 psi，0-50 psi，0-100 psi，0-150 psi，0-250 psi
• 適用溫度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
• 泄漏率：1×10-9 mbar.l/s
• CV 值：0.16
• 重量：1.54 kg (3.42 lbs)

材 質

• 母體：316L (EP)，可選 C22 哈氏合金
• 閥座：PCTFE
• 膜片：C22 哈氏合金
• 閥桿：C22 哈氏合金

適 用 范 圍

• 半導體
• 太陽能
• 真空鍍覆設備
• 特氣制備