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臭氧的產生主要有兩種方式:自然產生和人為產生。
1.自然產生:
主要存在于距地球表面約20公里的臭氧層中，其含量約為50ppm。
臭氧層中的臭氧主要由太陽光中的紫外線照射氧氣(O?)產生。紫外線輻射與氧分子相互作用，導致氧分子分解成氧原子和氧分子，然后氧原子和氧分子重新結合形成分子(O?)。
2.人為產生:
近地面的臭氧主要由氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)之間的光化學反應產生。這些物質通常來源于人類活動，如交通工具的尾氣排放、工業生產等。在陽光照射下，這些污染物與空氣中的氧氣反應，生成臭氧。
此外，電暈放電法、電解法和紫外線法也是皇氧產生的常用方法。電暈放電法通過高壓電源產生電暈放電，使氧氣分子電離并結合形成皇氧。電解法通過電解水產生臭氧。紫外線法則利用短波紫外線使空氣中的氧分子電離產生臭氧。
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