采用氧氣源的臭氧機(jī)得到了快速發(fā)展。目前氧氣源主要有四種方式：氧氣瓶，醫(yī)療家用制氧機(jī)，臭氧制氧機(jī)，分體式制氧系統(tǒng)。

　 　醫(yī)用氧氣瓶：是臭氧發(fā)生器氧氣源*代產(chǎn)品。 優(yōu)點(diǎn)是一次性投入少，氧氣純凈。缺點(diǎn)是氧氣瓶是消耗材料，需經(jīng)常換氧氣瓶。長(zhǎng)期運(yùn)行成本高，要經(jīng)常更換，使用起來(lái)比較麻煩。在氧氣瓶充足場(chǎng)合可以使用氧氣瓶。

　　醫(yī)療家用制氧機(jī)：是臭氧發(fā)生器氧氣源第二代產(chǎn)品。 采用分子篩技術(shù)，利用空氣作為原料，通過(guò)分子塔生成高濃度氧氣．氧氣濃度在 90% 以上。優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備容易獲得。和氧氣瓶相比，沒(méi)有消耗，不用經(jīng)常換氧氣瓶。缺點(diǎn)是該設(shè)備本來(lái)用于家庭醫(yī)療不是臭氧設(shè)備，不能長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行，不耐臭氧，不耐潮濕。通常是 3L-5L/ 分鐘產(chǎn)量。

　　臭氧制氧機(jī)：是臭氧發(fā)生器氧氣源第三代產(chǎn)品。采用分子篩技術(shù)，利用空氣作為原料，通過(guò)分子塔生成高濃度氧氣．氧氣濃度在 90% 以上。采用防腐蝕材料，氣源深冷，多級(jí)除濕裝置。整個(gè)設(shè)備耐腐蝕，耐潮濕，溫升低。山美水美 CFY 系列制氧機(jī)產(chǎn)量通常有每分鐘 5L-50L 。

　　分體式制氧系統(tǒng)：用于大型臭氧發(fā)生器配套氣源。 采用獨(dú)立壓縮機(jī)，冷干機(jī)，分子塔，儲(chǔ)氧罐，電氣控制柜等。zui小產(chǎn)量每小時(shí) 1 立方米，zui大產(chǎn)量每小時(shí)可達(dá) 300 立方米。造價(jià)高，系統(tǒng)復(fù)雜，體積龐大。