臭氧發生器的發生技術主要是通過自然界產生臭氧的方法模擬而來的，伴隨不斷的研究和科技的發展，臭氧的發生技術已具備相當高的水平，其主要方法有以下幾種。
一、光化學法:光波中紫外光會使氧分子O2分解并聚合為臭氧O3，大氣上空的臭氧層即是由此產生，人工生產臭氧即采用光電法，產生出波長λ=185nm（10-9m）的紫外光譜，這種光zui容易被O2吸收到產生臭氧的效果。
光化學法生產臭氧的優點是純度高，對濕度溫度不敏感，具有很好的重復性。這些特點對于臭氧用于人體治療用作為儀器的臭氧標準原是非常合適的。缺點是能耗高 。
二、電化學法:利用直流電源電解含氧電解質的水產生臭氧氣體的方法。八十年代以前，電解液多為水內填加酸鹽類電解質，電解面積小，臭氧產量低，由于人們在電極材料、電解液與電解機理過程方面大量的研究，生產技術取得了很大進步，現在已能夠利用純水電解等到高濃度臭氧。
電解法生產臭氧具有濃度高、成份純凈、水中溶解度高的優勢，但臭氧的產量低。
三、電暈放電法:電暈放電法是模仿自然界雷電產生臭氧的方法，通過人為的交變高壓電場在氣體中產生電暈，電暈中的自由高能離子離解O2分子，經碰撞聚合為O3分子。
電暈放電型臭氧發生器是目前應用zui廣泛、相對能耗較低、單機臭氧產量zui大、*zui高的臭氧發生裝置。電暈放電法生產臭氧的裝置基礎是高壓電極、地電極、介電體與放電氣隙四部分， 高濃度的臭氧發生裝置還要同時配備冷卻、氣源預處理等技術。
四、產量單位：g/h kg/h 1kg/h=1000g/h 產量≈濃度X流量
氣體濃度單位：mg/L g/m3 mg/m3 ppm x%
1ppm=2.14mg/m3(空氣中） 1%=13.5mg/L（空氣中） 1%=14.8mg/L（氧氣中）
水溶濃度單位： mg/L g/m3 ppm 1ppm= 1mg/L
