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有關臭氧發生器臭氧的理化數據如下：
在標準狀況下，密度 2.144g/L。由于接近地面的干燥空氣，密度為1.293g/L，因 此臭氧密度是空氣的1.658倍。
在 -195.4 0 C時，液態臭氧密度為1.164g/ml。
臨界溫度為 -12.1 0 C，臨界壓力為5.45×10 6 帕。
在冷水中的溶解度比氧氣約大 10倍。
空氣中含有 0.02PPm左右的臭氧。
一般情況下，空氣中 1PPm臭氧可取2.14mg/m 3 ，水中1PPm臭氧為1mg/L。
長期呼吸 >0.1PPm臭氧，對人體有害。
臭氧濃度在 0.02PPm時，嗅覺敏銳者能感覺到，稱“感覺臨界點”；0.15PPm時，一般人能嗅出，稱“嗅覺臨界值”（亦為衛生標準點）；1-10PPm為“刺激范圍”10PPm以上為“中毒范圍”。
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