誤差是不可避免的，目前還沒有哪個儀器可以說可以做到非常精確，**的，那么對于光譜分析儀的數據精密度差如何看待呢？且看下面文章小編與您分析的。
在光譜分析儀測定過程中，精密度是重要指標之一，與光譜儀本身、方法設置、分析測試人員水平有關系，沒有高精密度的方法，就無法保證數據的準確性。操作者在工作中會經常碰到測試數據波動大，常量分析ESD%大于2%等故障現象。這種現象就是數據精密度差的表現，也就是專業上所說的信號噪聲大。上面闡述了等離子炬形成的條件，下面從環境因素、光源系統。試樣引入系統和光學系統詳細分析數據光譜分析儀精密度差產生的原因。
在環境因素中，環境溫度沒有在規定范圍內時會發生譜峰偏移；排風量不穩定會使“火焰”跳躍。例如，排風口與陣風方向相對或者快速開關實驗室推拉門，容易導致排風量忽大忽小。ICP光譜儀巨力振動源（如車間）、強磁場（光電直讀光譜儀）接近，會導致數據不穩定。可以采取控制環境因素的辦法來保證，它是保證光譜分析儀數據精密度的必要條件之一。
光譜分析儀開機后，光室溫度變化應小于±1°C，若光譜分析儀溫度未穩定在該值，光室內光學元素由于受溫度影響，各光學元件的相對位移產生變化，導致待分析譜線位置漂移和分析數據失真。因此儀器主要應充分預熱，在光室溫度穩定在其儀器額定值時才可以進行測定。
在光源系統中，等離子炬溫度也會影響其精密度變化，影響因素有載氣流量。載氣夜里、頻率和輸入功率和低點離電位的釋放及。載氣流量增大，中心部位溫度下降；溫度隨載氣氣壓的降低而增加；頻率和輸入功率的增大激發溫度隨之增高；引入低點離電位的釋放劑的等離子體，其溫度將增加。RF功率不穩定會影響數據精密度，如果RF功率有1%的漂移，元素強度值就能發生1%的變化，其原因是因為氬氣不純或者循環水溫度突然發生變化造成的，可以用氬線的穩定性來檢測。
