工作臺面

370mm*245mm

載物臺直徑

4"

光學(xué)參數(shù)

總放大率：50-100倍；手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；

旋轉(zhuǎn)臺

粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；Z小刻劃：1°；
銅盤直徑：Φ85mm；緣盤直徑：Φ102mm

三維探針座

探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ；
三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制；
Z多可布三維探針座6個；
探針臂伸出長度：60mm；
探針長度：40mm；

探針

探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm；