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規(guī)格

SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于200slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質(zhì)量流量控制器, 適用于 50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質(zhì)量流量控制器, 適用于 200slm N2 標(biāo)稱流量.

概要

質(zhì)量流量計是半導(dǎo)體制造設(shè)備中非常關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)*超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來始終如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在，手?jǐn)y全新的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。

相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了全新的突破，而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產(chǎn)品的設(shè)計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。

高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。正見證著這一即將改變整個半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。

*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。

特征

高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術(shù)保證在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng)，并在大量實驗的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，保證任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。