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油擴散泵：（1）擴散泵的原理：在前級真空泵所造成的低真空條件下，加熱泵內硅油，使受熱沸騰蒸發，生成蒸氣，以*速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統達到高真空的要求。
（2）使用要求：泵在使用前，應先用自來水沖刷，除去浮塵，后用洗液罐入充分洗滌，再用清水及蒸餾水洗凈吹干，后罐入規定容量的572。電熱功能應大致符合規定，并應用變壓器調節電壓，慢慢調至恰當的位置，從200至220之間便適應工作要求。
1895 三級油擴散泵（GG－17玻璃）：
本擴散泵使用原理性能與1894四級擴散泵相似，只是體積及抽速略小，價格便宜，適用于要求較低真空系統用。其技術數據如下：
抽速（升/秒） : 60～80
極限真空（モ） : 5×10ˉ7
用油量ml : 150
泵直徑mm : 100
全高mm : 530<BR
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