1、真空泵的極限壓強(qiáng)
泵的極限壓強(qiáng)單位是PA，這個(gè)是指泵在入口的地方裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在沒有引入氣體正常工作的情況下，趨向比較穩(wěn)定的低壓強(qiáng)。
2、真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是M3/S或L/S，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并且按照規(guī)定條件工作的時(shí)候，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量跟在試驗(yàn)罩位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速。
3、真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是PA M3/S或PA L/S。就是指泵入口的氣體流量。
4、真空泵的起動壓強(qiáng)
真空泵的起動壓強(qiáng)單位為PA，它就是指泵無損壞起動并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
5、泵的前級壓強(qiáng)
真空泵的前級壓強(qiáng)單位是PA，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
6、真空泵的大前級的壓強(qiáng)
真空泵口大前級壓強(qiáng)單位是PA，它就是指超過了能夠使泵損壞的前級壓強(qiáng)。
7、真空泵的大工作壓強(qiáng)
真空泵的大的工作壓強(qiáng)單位是PA，它就是指對應(yīng)大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能夠連續(xù)工作而不惡化或者損壞。
8、壓縮比
壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
9、何氏系數(shù)
泵抽氣的通道面積上面的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
10、抽速系數(shù)
泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
11、返流率
泵的返流率單位是G/CM2.S。它就是指泵按照規(guī)定條件工作的時(shí)候，通過泵入口單位面積的泵流的質(zhì)量流率。
12、水蒸氣允許量
水蒸氣的允許量單位是KG/H，它就是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作的時(shí)候能夠抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
13、大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)
大允許水蒸氣的入口壓強(qiáng)單位是PA 。它就是指在正常環(huán)境條件下面，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的高入口壓強(qiáng)。
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