F系列質量流量計僅用于測量氣體的質量流量。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。
F系列質量流量計用于測量氣體的質量流量，其測量值不因壓力或溫度的波動而失準，不需要進行壓力和溫度修正。對于一般的體積流量計（如轉子流量計），在相同的體積流量指示下，當壓力、溫度改變時，其實際克分子流量會發生較大變化，而F系列質量流量計則基本不受影響。
質量流量控制器不僅能測量氣體的流量，具備流量計的功能，而且它還能控制流量，它本身具有檢測控制電路和流量調節閥，是一個閉環控制單元。用戶可以根據需要在量程范圍內任意給定流量設定值，mfc會自動跟蹤設定值而改變流量并穩定在設定值上。如果希望定量地獲得流量，要求流量保持恒定或根據需要而動態改變，或需要自動測量 和控制流量，則質量流量控制器是Z佳的選擇。
氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示，質量流量單位規定為:sccm---標準毫升/分,slm---標準升/分標準狀態指：溫度—0℃,氣壓—101325pa(760mmhg)。因為在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，密度乘以體積流量就等于質量流量，所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。F系列質量流量計和質量流量控制器在使用過程中，無論工作氣體的溫度、壓力如何變化，它所顯示的流量總是標準狀態下的體積流量。這是F系列質量流量計的主要優點。
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