在80年代以前，絕大多數臭氧發生器都使用空氣作為氣源，現在隨著制氧技術的不斷提高，氧氣開始作為臭氧發生器的原料氣體大規模使用。我國自來水廠幾乎全部采用國外進口的大型臭氧設備，都以液氧經汽化后為主要氣源，并摻有2%-5%的少量氮氣。以氧氣為氣源的臭氧設備，所產生的臭氧濃度高，一般要求大于100mg/L；因氣源潔凈，露點低，保證了設備運行的穩定性。
國外進口臭氧設備之所以要求以氧氣為氣源，而不用壓縮的干燥空氣為氣源，除上述原因外，更主要是減少其設備的故障率，降低企業的維修費用。追求高濃度，是因為使用氧氣的費用太高，只有提高臭氧濃度來減少氧氣用量，降低自來水廠的生產成本，但是又間接提高了臭氧發生器的設備費用。實際上自來水處理根本不需要那么高的臭氧濃度，我國臭氧行業對于用于水處理的臭氧發生器出氣濃度僅要求為≥8mg/L，一般的以空氣為氣源的標準型臭氧設備，都能達到以上指標，甚可以達到35 mg/L以上。
水處理臭氧設備選型及運行的過程中，不要于氧氣源和高濃度，應考慮臭氧設備的產量、濃度、氣量及功耗之間的綜合經濟指標。使用氧氣源時，氧氣綜合利用顯得非常必要，少不應該在接觸池后面進行尾氣臭氧破壞后排掉。由于水源質量問題，即使是自來水廠的水處理都有包含生化曝氣的預處理工藝，少應將高濃度的氧氣通過加壓導入曝氣系統，或者直接通過提高臭氧發生器運行壓力將尾氣導入曝氣系統。更大規模的臭氧系統，應考慮將氧氣干燥凈化后循環使用，僅補充10%左右的新氧氣。
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然而根據目前多方面的實驗數據，在自來水廠適應的某些產量段的臭氧發生器，以氧氣為氣源的運行費用并不比以空氣為氣源時低，少臭氧發生器本身運行時如此。
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