在工業產品生產領域，人類用得較多的是臭氧的消毒特性。氧氣源臭氧發生器具有快速、、節能、環保、無二次污染等優勢，具體表現在以下幾方面：
一、快速
臭氧主要利用其強氧化性進行消毒，這種消毒的過程在瞬間完成，速度比氯等消毒劑快許多倍。
二、廣譜
臭氧是一種廣譜劑，不僅可殺滅有害菌的繁殖體、芽孢、、真菌和原蟲孢體等多種微生物，還可殺滅破壞肉毒桿菌和毒素及立克次氏體等。
三、
紫外線消毒存在距離短、能力弱、有死角等問題，效率低。而臭氧是一種氣體，經氧氣源臭氧發生器產生之后，可快速彌漫到食品車間、辦公區等需要消毒的場所，且可避免的空間死角問題。
四、環保衛生
臭氧消毒之后，會很快自行分解為氧氣，沒有殘留，沒有二次污染，是一種環保型消毒劑。
五、操作方便
臭氧設備可安裝在室內或空調系統、空氣凈化系統、大的設備中，可根據所需臭氧的濃度及時間，自動設置臭氧設備的時間，操作方便。而使用環氧乙酸、醋酸、甲醛消毒，所需的時間較長。
六、經濟實惠
很多人認為，在食品、藥品、化妝品等產品生產過程中，使用氧氣源臭氧發生器消毒，要耗費較高的成本。其實，這種看法是錯誤的。臭氧發生器的使用簡單，插電即可使用，不需要復雜的操作，不需要專業人員來使用，這可節約用人方面的工資。同時，使用臭氧發生器的能耗相對較小。
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