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壓力傳感器基礎知識

閱讀:3256      發(fā)布時間:2010-2-20
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經營:電氣裝備用電纜_高溫高壓熱電偶_防腐熱電阻_防爆熱電阻
    敏感元件是能夠靈敏地感受被測變量并作出響應的元件。如:彈性膜盒能感受壓力的高低而引起形變,形變的程度就是對壓力高低的響應,因此,彈性膜盒是一種壓力敏感元件。 

    傳感器不但應該對被測量敏感,而且具有把它對被測量的響應傳送出去的功能。也就是說,傳感器不只是一般的敏感元件,它的輸出響應還必須是易于傳送的物理量。例如:上訴的彈性膜盒的輸出響應是形變,是微小的幾何量,不便于向遠方傳送。如果把膜盒中心的位移轉變?yōu)殡娙輼O板的間隙變化,就成為輸出響應是電容量的壓力傳感器。  

    由于電信號zui便于傳送,所以絕大多數(shù)傳感器的輸出是電量的形式,如電壓、電流、電阻、電感、電容、頻率等。  

    變送器是從傳感器發(fā)展而來的,凡能輸出標準信號的傳感器就稱為變送器。(標準信號是物理量的形式和數(shù)值范圍都符合標準的信號。例如直流420mA)有了統(tǒng)一的信號形式和數(shù)值范圍,就便于把各種變送器和其他儀表組成檢測系統(tǒng)或調節(jié)系統(tǒng)。  

    輸出為非標準信號的傳感器,必須和特定的儀表或裝置配套,才能實現(xiàn)檢測或調節(jié)功能。為了加強通用性和靈活性,某些傳感器的輸出可以靠轉換器把非標準信號轉換成標準信號,使之與帶有標準信號的輸入電路或接口的儀表配套。不同的標準信號也可借助于轉換器互相轉換。例如利用氣/電轉換器,能把20100 kPa的空氣壓力轉換成010mA的直流電流。  

    位式作用和連續(xù)作用:     

    位式作用,也稱為開關作用,即傳感器在輸入變量整個變化范圍內其輸出相應只有兩種狀態(tài),例如空氣狀態(tài)的。 

    位式作用的傳感器多用于被測變量的超限報警、連鎖保護、順序控制。例如我們的壓力開關。 

    需要連續(xù)檢測或調節(jié)某些變量時,就必須用連續(xù)作用的傳感器或變送器。 

    長野的變送器中所使用的傳感器SS—蒸發(fā)型半導體應變片的特點:     

   (1)相對于粘貼式和擴散式,蒸發(fā)式為新技術。 

   (2)其可測壓力范圍 -0.10.3MPa0200MPa 

   (3)具有很好耐用性和穩(wěn)定性。

    半導體應變片的制作方法:粘貼方式、蒸發(fā)方式、擴散方式。  

    長野的變送器,如KM31KM10 等,其半導體應變片部分、感應元件(不銹鋼隔膜)以及壓力接口部分通過焊接連接成一體,具有很高的穩(wěn)定性和可靠性,抗震性和抗沖擊性良好。 

     蒸發(fā)式半導體應變片的具體制作方式如下:        

   (1)在不銹鋼隔膜上使用CVD等離子沉淀一層SiO2絕緣膜 

   (2)在SiO2絕緣膜上再沉淀一層多晶硅。 

   (3)在多晶硅上使用激光蝕刻,應變片成型 。

   (4)用電子束照射蒸鍍,配上金制電極。 

   (5)再使用CVD等離子沉淀一層SiNx保護膜。 

 

    根據(jù)傳感器或變送器的安裝場所有無易燃易爆氣體及危險程度,選擇隔爆型及本安型。     

   (1)隔爆型在內部電路和周圍易燃氣體之間采取了隔離措施,允許使用在有一定危險性的環(huán)境里 。

   (2)本安型即本質安全型的簡稱,依靠特殊設計的電路保證在正常工作及故障(意外短路或斷路)狀態(tài)下都不會引起燃爆事故,可用在十分易燃易爆的場所。

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