掃頻下薄膜介電常數及損耗曲線的重要性和意義

   關鍵詞：薄膜介電, 介電常數, 損耗,曲線圖

                         掃頻下薄膜介電常數及損耗曲線的重要性和意義

薄膜是一種薄的材料層，通常用于電子器件、光學器件和太陽能電池等領域。薄膜的介電常數是描述其在電場中所表現出的電介質性質的物理量。介電常數是用于衡量材料對電場的響應能力的指標，即材料對外界電場的感應程度。在薄膜的應用中，其介電常數的大小直接影響著薄膜的電學特性以及相應器件的性能。

薄膜介電常數是指薄膜材料在無限大頻率下的介電常數。它是由材料的極化效應所決定的，描述了材料在電場作用下的極化程度。介電常數可以分為實部和虛部，分別對應薄膜材料的介電極化性質和耗散性質。實部反映了材料在電場下的極化程度，而虛部則代表了能量損耗。

薄膜介電常數的測量是通過對薄膜材料在不同頻率下的電容或電感進行測量來實現的。常見的測量方法包括電容法、斯托克斯法和微波諧振腔法。這些方法可以提供薄膜在特定頻率范圍內的介電常數值，并能夠確定其實部和虛部的大小。

薄膜介電常數的測量是通過對薄膜材料在不同頻率下的電容或電感進行測量來實現的。常見的測量方法包括電容法、斯托克斯法和微波諧振腔法。這些方法可以提供薄膜在特定頻率范圍內的介電常數值，并能夠確定其實部和虛部的大小。

JKZC-BMZD01型薄膜介電常數（ε）及損耗測試儀（tgd）

三電極結構設計：

微調千分尺：微調千分尺具備0.001mm的調節精度，可精細化調節上下電極之間的距離。

平行板測試電極：下電極固定在底部支撐座，上電極可由微調千分尺調節行程距離。上電極帶有保護電極。

上電極片：上電極標配有2mm球頭電極、φ26.8mm圓片電極和φ38mm圓片電極。可根據樣品大小隨時更換。

鎖緊裝置：當樣品放入上下電極之間后，可調節此鎖緊裝置，固定上下電極的調節行程。防止輕微移動引起的刻度偏差。

嚴格按照ASTM D150國際標準設計，電極表面鍍金處理，導電性能好、抗氧化，使用壽命更長

一、真正的三電極設計

介電夾具基于ASTM D150標準試驗方法，采用三電極法設計。上電極+下電極+保護電極，電極表面鍍金處理，導電性能好、抗氧化。為消除測試連接線阻抗及連接線之間相互耦合對測試的影響，儀器與夾具電極連接采用4端對法。

得益于測試線纜和電極引線的良好屏蔽，屏蔽層直達測試電，因此獲得更高的校準頻率。

2.校準頻率最高可達100MHz

適配的阻抗分析儀更加豐富，充分利用測試儀器的測試頻率范圍（20Hz-120MHz），以滿足測試樣品對更高頻率的要求。

3.高精度調節行程

適配高精度微調千分尺，可調精度為0.001mm，

上電極可調行程為12mm，并帶有鎖緊裝置，可有效鎖定當前刻度位置，確保測試的穩定性和準確性。

標配26.8/38mm尺寸電極片，可滿足不同尺寸樣品測量，樣品安裝方便、簡單

主要技術參數：

1、測試頻率：DC~100MHz

2、樣品要求：雙面涂覆電極，保持平整、光滑

3、樣品尺寸：2mm≤φ≤60mm，厚度≤10mm

4、電極圓片：無。有效面積：樣品上下涂覆電極垂直重疊部分面積

5、誤差分析：存在邊緣電容，樣品表面凹陷處被導電體填充

6、測試接口：4個SMA母頭

7、上電極：φ2mm球頭電極+φ26.8mm圓片電極+φ38mm圓片電極

8、保護電極：上電極帶保護電極，電極表面鍍金

9、上電極壓力調節：12mm行程調節，用于上電極與樣品良好的電性能接觸

10、帶電極樣品尺寸：2mm≤φ≤60mm，厚度≤10m

11、設計標準：ASTM D150和D2149-97國際標準，GB/T1409-2006國家標準

12、電極結構：兩平行板電極+保護電極，三電極結構

13、電極引線：同軸屏蔽線，消除電磁干擾對測試影響

14、下電極：φ60mm鍍金圓片電極

15、上電極行程調節：12mm行程調節，用于樣品安裝

16、數據存儲：數據庫保存各類實驗數據，同時輸出TXT、XLS、BMP等格式文件，對實驗數據提供豐富的查詢與分析，輸出圖形與數據。