Q3-V靜電電壓表

如何選擇正確的儀器量測表面靜電壓

隨著科學技術的日益發展，電子元器件的工作頻率越來越高，集成化程度越來越高，這些電子元器件本身的抗靜電能力也越來越低。目前顯著存在這類問題的行業主要集中在IC，FPD，HDD等生產廠家，他們越來越關心生產過程中存在的靜電問題。要瞭解生產過程中的靜電狀況，目前zui主要的是使用一些儀器來測量生產設備、工作機臺以及產品本身帶靜電量。但是如何正確的選擇測量儀器又成為這些廠家另一個困惑的問題。

但電場計由於其不需要高壓放大電路產生電壓回朔至探頭故其價格較低。靜電電壓表特別是使用電壓跟隨(Follow)的方法，其可以量測至非常小的面積範圍，且此電場計的精度及解析度都來得好，但由於其會產生一與表面電位相同的電壓在探頭上，故使用時需注意不要去觸碰此探頭。

AC-feedback靜電電壓表是一種較經濟型的靜電跟隨型靜電電壓表﹔其不會產生高電壓在探頭上，在特定的D0範圍是精確度維持一致的。舉例說明，TREK公司model 520，其在3~30mm的D0範圍內其精確度都維持在5%。

技術指標

有接觸式和非接觸式，一般接觸式靜電電壓表如FS3靜電計的測量精度高些，但只能適用于測量金屬體的靜電電壓或電位 ，而非接觸式測量時勿需同帶電體接觸，數字風速儀不但能測量金屬體的靜電，也能測量絕緣體的靜電，且對被測量物體影響小。非接觸式靜電測量儀主要有 ; 直接感應式、振動電容式、旋轉葉片式等幾種結構。

直接感應式儀表經過一段時間之后，探頭上的感應電壓將趨近于零。因此，直接感應式儀表不能用作固定接入的監測儀表。但這種儀表成本很低，因而價格低廉深受用戶歡迎，但空氣中的帶電粒子、離子或儀表內部的漏電流會使儀表讀數隨時間而漂移，在對物體測量之前要在遠離被測量物體或靜電為零處清零，否測會因沒有清零或清零不正確而產生非常大的誤差。

旋轉葉片式 這種儀表由測量探頭，放大器、顯示儀表等環節組成。其探頭上有幾個旋轉葉片金屬極片由電動機帶動作旋轉運動，隨著極片不停地轉動，感應極片上感應出持續的交流訊號電壓。這種儀表探頭上的交流訊號也是經過阻抗變換、放大、檢波之后，再通過顯示儀表顯示被測電壓。

為了辨別帶電體的極性，可以借助給轉動極片加上—定的電壓，通過儀表指示可鑒別被測帶電體電數字風速儀壓的極性。旋轉葉片式儀表也能用做固定接 入的監測儀表。但這種儀表探頭部分有一個小電動機，消耗能量較多，而且容易受環境影響較大，電動機容易磨損也會產生干擾，探頭體積較大。有些靜電超過量程時可能指示不但不增加，還會隨著電壓的升高而讀數變小的“反常”現象，因些不適于監測重要部門的靜電，否則有可能出現*的誤差。

集電式儀 集電式儀表是利用放射性同位素使空氣電離，借以測量被測帶電體對地電壓。其結構原理是放射性同位素(通常用鐳)，在放射性同位素作用下，空氣被電離，在被測帶電體與探頭之間形成微弱的氣體導電區域，在集電片上產生一個直流訊號電壓，儀表探頭內有微量的放射性同位素。由于射線有可能泄漏，使用是不要對人體測量，而且探頭前方空氣氣流速度會影響空氣電離的密度，因而影響其測量準確性，在空氣流速大時根本無法測量。

振動電容式儀表的探極上的交流訊號決定于被測帶電體的電壓和探極的振動，不隨時間衰減，因此，這種儀表除可用作測量儀表外，還可用作固定接入的監測儀表。而采用*技術設計的振動電容式儀表還能在有帶電粒子或離子如高壓放電、離子風消電器產生的環境中穩定工作，也能在塵土較多，濕度較大的環境中穩定工作。不會像直接感應式儀表那樣產生漂移，也沒有旋轉葉片式儀表那樣因電動機轉動造成磨損而影響壽命和產生“反常”誤差，更不會像集電式儀表測量電壓那樣對人體產生有害的心理作用和受空氣流動的影響。這種儀表是目前上技術*的靜電 測量儀表，但成本高因而價格也高。

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