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納米定位臺的特點和應用

來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2018年04月16日 18:48  

納米定位臺的特點和應用

  主要特點

  高于行業標準3倍速度:<4ms的階躍穩定時間和100μm的閉環位移控制;600Hz的響應頻率;20N/μm的剛度

  裝備雙傳感器技術:在不同的負載下無需重新校準;*的機械帶寬;

  的ZSY納米傳感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的線性度;0.005%的剩余磁滯;

  免工具安裝適配器;

  超級不脹鋼結構設計獲得*的聚焦穩定性。

  納米定位臺應用領域

  表面結構分析;

  自動對焦系統;

  共焦顯微鏡;

  掃描干涉儀。

  納米定位臺采用無摩擦無空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元分析優化柔性鉸鏈結構,具有超高的導向精度,定位精度可達納米級,分辨率達亞納米,毫秒級定位穩定時間,產品體積小巧,結構緊湊,易于集成到其他設備中。

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