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美國博曼BA-100鍍層測厚儀技術(shù)參數(shù)配置報告

來源:深圳市鼎極天電子有限公司   2018年08月02日 10:16  

一:美國博曼BA-100儀器介紹:

 

1:品牌:美國博曼(Bowman

 

2:儀器原理:

X射線熒光(XRF)儀器的工作原理是對被測樣品發(fā)射一束一次X射線,樣品的原子吸收X射線的能量后被激發(fā)并釋放出二次X射線。每個化學(xué)元素會釋放出特定能量的X射線。通過測量這些釋放出的二次X射線的特征能量和強(qiáng)度,X射線分析儀就能夠?qū)Ρ粶y材料的鍍層厚度和成份提供定性和定量的分析。

 

3:儀器原產(chǎn)地:儀器整機(jī)原裝美國進(jìn)口,電腦與打印機(jī)國內(nèi)配置。

 

4:儀器測量元素范圍:元素鈦(22)到鈾(92)

 

5:儀器分析能力鍍層:5層(4層鍍層+基材)成份:多同時測定25種

 

6:X射線管微聚焦型射線管標(biāo)定功率50瓦,設(shè)計功率300瓦,銅管體;設(shè)計功率更高,銅管體相比不銹鋼管體散熱性能更好,壽命更長,(市場上有些采用不銹鋼管,散熱差,光管使用2年后容易出現(xiàn)漏油、掉電流)。

 

7:探測器類型及分辨率:采用高分辨率固態(tài)Si-PIN半導(dǎo)體探測器分辨率優(yōu)于190eV,(搭載高分辨率的固態(tài)探測器,能量分辨率更高,測量相鄰元素更,儀器無需二次濾波器,峰位長時間保持穩(wěn)定,無需頻繁地用標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)儀器;市場上有些老式的封氣正比計數(shù)器分辨率約900eV正比計數(shù)探測器,能量分辨率很低,因?yàn)槭菤怏w探測器,容易受環(huán)境溫濕度影響,時常出現(xiàn)干擾,儀器必須經(jīng)常用標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)且儀器開機(jī)預(yù)熱時間超長)。

 

8:儀器剛開機(jī)系統(tǒng)預(yù)熱時間X射線管在出廠前經(jīng)過嚴(yán)格調(diào)教,且采用半導(dǎo)體探測器,預(yù)熱時間短,開機(jī)后5分鐘內(nèi)可以開始測量。(市場上有些儀器由于采用氣態(tài)探測器,受溫濕度影響大,需要等探測器穩(wěn)定后才能開始測量,預(yù)熱時間需要超過30分鐘。

 

9:X射線光程(射線管窗口離開樣品表面距離)小于2英寸博曼BA100采用了新的技術(shù),具有更緊湊的光學(xué)結(jié)構(gòu),X射線光程短,減少射線能量損失,樣品激發(fā)效果,改善測量重復(fù)性.

 

10:濾波器4 位置一次濾波器,自由切換,博曼使用Si-PIN探測器具有足夠好的元素分辨率,無需采用二次濾波器。

 

11:準(zhǔn)直器圓形:Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3、Φ0.6mm可選

 

12:X射線方向:從上往下。

 

13:視頻放大倍數(shù):30倍光學(xué)放大(50倍可選)

 

14:樣品倉:開槽式

 

15:儀器測量報告一鍵導(dǎo)出,并且自動保存每一個測量點(diǎn)的圖像,方便客戶跟蹤實(shí)際測量情況。

 

16:激發(fā)電壓0-50Kv連續(xù)可調(diào)。

 

17:配備標(biāo)準(zhǔn)片庫軟件標(biāo)準(zhǔn)配備標(biāo)準(zhǔn)片庫功能,方便對標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行管理和維護(hù),記錄標(biāo)準(zhǔn)片的信息、校準(zhǔn)日期等。存儲常用元素的波譜,方便校準(zhǔn)檔案的建立和維護(hù)。(市場上其它儀器沒有這個功能)

 

18:校準(zhǔn)檔案建立權(quán)限開放給客戶,客戶可以根據(jù)實(shí)際情況隨意添加新的校準(zhǔn)檔案和分析程序。

 

 

19:設(shè)備精度:

例:1:使用0.2mm準(zhǔn)直器進(jìn)行測量標(biāo)準(zhǔn)片,小測量點(diǎn)直徑應(yīng)在0.3mm以上;

層鍍層精度(相對于標(biāo)準(zhǔn)片):

1~20uin(0.025um-0.5um)誤差為±5%~12%,20uin(0.5um)以上誤差為±5%;

第二層鍍層精度(相對于標(biāo)準(zhǔn)片):誤差為±10%;

第三層鍍層精度(相對于標(biāo)準(zhǔn)片):誤差為±15%;

2:機(jī)器測量厚度范圍為:(層厚度 x 10 + 第二層厚度) < 800 uinch微英寸(20um微米) ;超出此范圍測量精度不在保障內(nèi)。

 

20:質(zhì)保期:儀器整機(jī)保修12個月,標(biāo)準(zhǔn)片易耗品不在保修范圍內(nèi);儀器保修期內(nèi),使用儀器期間出現(xiàn)問題,我司收到通知后2個小時內(nèi),指導(dǎo)解決,如無法解決,12個工作小時內(nèi)我司工程師上門服務(wù);非正常操作所引起故障,如雷擊、人為損壞,自然災(zāi)害等,均不在保修范圍內(nèi)。(如有特殊要求,可延長保修期)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

二:以下是美國博曼半自動臺與全自動臺參數(shù)對比:


 

 

 

 

 

 

 

三:裝機(jī)配件清單:

例:BA-100-P-MVM設(shè)備裝機(jī)配件清單》

序號

配件名稱

品牌/型號

單位

數(shù)量

備注

1

博曼Bowman BA-100測量主機(jī)

博曼/BA-100

1

 

2

50瓦鎢靶微聚焦X射線管

博曼

1

 

3

高分辨率硅PIN探測器

博曼

1

 

4

開槽式自動XY樣品臺              (行程范圍152x127mm(如選用SFF這項(xiàng)是開槽式固定臺)

博曼

1

 

5

MVM多準(zhǔn)直器組件:          0.1mm、0.2mm、03mm、0.6mm(如選用SFF這項(xiàng)只有0.2mm

博曼

1

 

6

30X光學(xué)放大鏡頭

博曼

1

 

7

可調(diào)節(jié)亮度LED樣品照明

博曼

1

 

8

樣品艙門安全互鎖及Z軸防碰撞機(jī)構(gòu)

博曼

1

 

9

可變焦距,,雷射聚焦組件如選用SFF這項(xiàng)是固定焦距,無法變焦

博曼

1

 

10

可容納樣品高度為5.5英寸(14厘米)Z軸行程132mm

博曼

1

 

11

基于FP的膜厚測量軟件,內(nèi)置元素標(biāo)樣數(shù)據(jù)庫

博曼

1

 

12

4位置自動切換一次濾波器用于優(yōu)化信噪比

博曼

1

 

13

聯(lián)想(Lenovo)商用臺式電腦一臺

聯(lián)想

1

 

14

操作系統(tǒng) WINDOWS平臺

微軟/Win10 簡體中文版

1

 

15

 聯(lián)想19.5英寸顯示器

聯(lián)想

1

 

16

能量校準(zhǔn)片

博曼

1

 

17

銀標(biāo)準(zhǔn)片

Ag 80uinch(2.0um)

1

 

18

鎳標(biāo)準(zhǔn)片

Ni 80 uinch(2.0um)

1

 

19

鎳標(biāo)準(zhǔn)片

Ni160uinch(4.0um)

1

 

20

金標(biāo)準(zhǔn)片)

Au 2 uinch(0.05um

1

 

21

鈀標(biāo)準(zhǔn)片

Pd 4 uinch(0.1um)

1

 

22

無限厚元素片 Ag、Ni、Au、Pd、Cu、Fe

純元素片

6

 

23

美國博曼 BA100操作指南

博曼

1

 

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