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美國博曼(BOWMAN)X熒光測厚儀原理

來源:深圳市鼎極天電子有限公司   2019年07月24日 10:45  

關于美國博曼(BOWMAN)X熒光鍍層測厚儀原理:

對被測樣品發射一次X射線,樣品的原子吸收X射線的能量后被激發并釋放出二次X射線。通過測量被釋放出的二次X射線的特征能量和強度,就能夠對被測樣品的鍍層厚度和成份進行定性和定量分析。

 

X熒光新技術

Different types of detectors

?Improved resolution

?Improved stability

?Prolonged life

Various X-ray tube targets

?Optimized for challenging applications

?Cr, Mo, W, Rh, etc.

X-ray optics

?Poly capillary optics

?Halo reduction optics

Modular design

?Miniaturized components

?Low component cost

?Better serviceability

檢測器的發展

 

正比計數器 

Xe, Ne, or other halogen gas filled

Drift with temperature or/and humidity change

10,000~30,000 cps

800~1200eV at Mnresolution

Shorter life (2~5 years)

 

PIN 檢測器

Thermoelectrically cooled (Peltier)

Be window

Count rates: 3000~50,000 cps

Resolution: 170~240eV at Mn K a

10+ years life

硅漂移檢測(SDD

Thermoelectrically cooled (Peltier)

Be window or Carbon based material

Light element capability (i.e. P, Si, Al)

Count rates: 10,000~1,000,000 cps

Resolution: 120~170eV at Mn K a10+ years life

固態檢測器的優點

Phosphorus analysis electroless Ni

Improved detection ldown to Angstrom olevel

Separation of overlaelements

Improved stability wiminimal drift

Less maintenance1um Au/5um Ni/Inf Cu

 

 

 

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