Alicat流量計/流量控制器中，一般內置有溫度、絕壓、差壓三種傳感器。部分產品還內置了大氣壓傳感器用于測量表壓。

在FP-25大氣采樣流量校準器中還內置了濕度傳感器，用于補償空氣中的水蒸氣對流量測量的影響。

如果溫度、絕壓或差壓其中一種傳感器異常，都會對流量測量的準確性造成影響，影響依次增大。

一、影響傳感器的因素

溫度傳感器影響因素

溫度傳感器內部接線不良，劇烈震動，或電路板損壞，或超出溫度量程使用有可能導致溫度顯示異常。

建議：

溫度傳感器一般不容易出現(xiàn)故障，盡量不要超出溫度量程使用，常規(guī)型號溫度量程為-10~60°C。

絕壓、表壓、差壓傳感器影響因素

1.靜壓超量程可能導致絕壓、表壓傳感器損壞。

2.流量超量程，或差壓超出耐受范圍，或瞬時壓差過大可能導致差壓傳感器損壞。

3.氣體流量計/流量控制器內進水、進油或其他雜質，可能導致壓力傳感器損壞、誤差變大或讀數(shù)不穩(wěn)。

4.流量控制器PID未調好導致閥門劇烈抖動、流量劇烈波動，也可能導致壓力傳感器損壞。

5.傳感器缺陷。

說明：自2018年下半年以來，我們的產品經歷了軟件和硬件的全面升級，使用了質量更好、性能更穩(wěn)定的壓力傳感器配件，大大降低了傳感器的損壞概率。

Alicat流量計/流量控制器耐壓性能

建議：

1.保持流量計/流量控制器處于正常工作壓力范圍內，防止壓力超量程、瞬時壓差過大。

2.保持介質干燥潔凈，防止雜質、油污、液態(tài)水進入。

3.避免將不耐腐蝕的流量計/控制器用于腐蝕性介質。

4.設備調試時將MFC的PID調至合適的狀態(tài)，防止因PID問題導致的閥門抖動、流量大幅波動。

二、判斷傳感器是否正常

1.在有流量的情況下查看溫度、壓力、流量的讀數(shù)是否穩(wěn)定且正確，可與其他同類型參考流量計的讀數(shù)做對比。如果發(fā)現(xiàn)對比差異很大，有可能傳感器不準確了，可進行下一步檢查。

2.將流量計/控制器斷開氣源，斷開管路使傳感器通大氣，在常溫無流量的情況下查看溫度、壓力、流量讀數(shù)是否正常。此時溫度讀數(shù)應比較穩(wěn)定且接近環(huán)境溫度，壓力讀數(shù)應穩(wěn)定且接近當前大氣壓，流量讀數(shù)應穩(wěn)定且接近0。大部分地區(qū)大氣壓在14PSIA左右，如果流量計通大氣時壓力讀數(shù)偏離大氣壓太多，說明絕壓傳感器可能損壞了。

3.如果在有氣流通過和無氣流通過的情況下，流量讀數(shù)均顯示為0，則差壓傳感器應該已經損壞。

下圖是一個絕壓傳感器損壞的流量控制器，可以看出在通大氣的情況下屏幕左上角壓力讀數(shù)明顯異常，偏離當前大氣壓。