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直流高壓發生器故障產生的原因非常多，也是高壓系統中zui不好解決的問題，在解決此類故障是應該系統的考慮問題，產生此類故障的原因有：
1）直流高壓發生器球管：常見的為高壓頭打火，陰極zui常見，陽極很少見；球管內部打火，旋轉陽極不轉，或者轉速很低，或者陽極與管殼有刮碰等。排除它的故障一般先查看，傾聽，不可見的問題只能用排除法。
2）高壓電纜：一根高壓電纜中有獨立的三根線，在使用中，作為陰極使用的電纜中，三根線分別為大小燈絲和負kv輸出端；作為陽極使用的電纜中，三根線在TANK和球管段分別短接在一起，因此zui容易出現故障的是陰極電纜，排除故障時常用交換兩根高壓電纜的方法。
3）直流高壓發生器旋轉陽極板（雙速啟動板）：輸出電壓太低，導致球管陽極轉速很慢，常見于雙速啟動板，可能是調整或者是輸入電壓的問題，具體情況需查明。
4）諧振電容：導致錯誤的具體原因暫時沒有查明，可能與電容極板的絕緣強度，充放電速度有關。
5）TANK: TANK中常見的故障就是放電打火，放線時時可以在殼體附近聽到聲響，打開TANK時注意防塵防潮，若是器件損壞，比較容易發現，變壓器油也會變渾；若是線打火，比較難查，注意走線的位置。
6）KV/MA反饋線：此線的問題常是因為電磁干擾造成的，特別是CPI-100系列高壓發生器，電磁干擾zui為明顯，需要注意的是，這根線的屏蔽層只能一短接地，如果兩端都接地則沒有屏蔽作用了。
7）直流高壓發生器蓄能電容：由蓄能電容產生的問題很少，多為蓄能電容的損壞造成的，一般可見。
8）電源的原因（輔助驅動板，輔助板）：常見為+12V電壓偏低，一般低于11.7V時，就會產生故障，電壓低的zui終原因是控制板上的比較器基準電壓偏低，在正常的電壓輸入范圍內時就發生翻轉。
9）直流高壓發生器電流互感板（電流互感線圈）：注意同名端的方向，接插件是否連接可靠，線圈是否焊接牢固，沒有損壞。
10）控制板1：此故障的信號直接由其產生，排除電源的問題，器件的損壞比較常見。
11）控制板2：由其產生此問題不常見，但因其產生SCR的觸發信號，在觸發頻率發生偏移比較大時，不能與諧振回路很好的配合時，會出現KV/MA錯誤，嚴重時可擊穿可控硅。
12）直流高壓發生器接口板：多位信號的傳輸發生問題，可以測量CR27正相端BEAM FAULT信號。
13）CPU板：多為器件損壞，很少見
14）逆變板：對于CPI-100系列高壓發生器，逆變板發生故障導致KV/MA錯誤比較常見，可以直接更換逆變板，或者查找原因更換器件。