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微量氣體質量流量計

微量氣體質量流量計是采用世界的微機電系統(tǒng)流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）。

　　微量氣體質量流量計流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍zui大到5slpm;適用于粒子計數器和各類分析儀器。

　　微量氣體質量流量計的產品特點：

　　專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計;

　　支持多種連接方式，易于安裝與使用;

　　傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量;

　　在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高;

　　輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓;

　　零點穩(wěn)定度高;

　　全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復性;

　　低功耗、低壓損;

　　微量氣體質量流量計響應速度快;