阿爾卑斯電氣推出了業(yè)界zui小的壓電式MEMS壓力傳感器。尺寸方面，壓力傳感器單個(gè)元件的小型型號(hào)為2.5mm×2.5mm×0.7mm。內(nèi)置放大器的型號(hào)為3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用于檢測(cè)氣壓及高度等壓力。


壓電式MEMS壓力傳感器的封裝照片。數(shù)據(jù)提供：阿爾卑斯電氣

壓電式MEMS壓力傳感器可輕松實(shí)現(xiàn)小型化的原因是，可直接將隔膜的彎曲量當(dāng)作壓電電阻元件的電阻變化來(lái)捕獲，從而實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的元件結(jié)構(gòu)。另外，通過(guò)采用薄膜工藝技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)及封裝技術(shù)，也可減小傳感器元件尺寸，使其達(dá)到業(yè)界zui小。

壓力檢測(cè)的原理如下。來(lái)自外部的壓力會(huì)使壓力傳感器的隔膜彎曲。如果隔膜彎曲，在隔膜上形成的壓電電阻元件就會(huì)變形。這樣一來(lái)，就可以將變形產(chǎn)生的電阻變化作為電壓信號(hào)讀取出來(lái)。

阿爾卑斯電氣表示，通過(guò)采用以下3項(xiàng)技術(shù)，減小了壓力傳感器性能的不穩(wěn)定性。這3項(xiàng)技術(shù)分別為，通過(guò)優(yōu)化蝕刻條件，開(kāi)發(fā)出了可形成穩(wěn)定腔體（Cavity）結(jié)構(gòu)的技術(shù)；實(shí)現(xiàn)了可減小外應(yīng)力影響的Si-Si密封接合；采用了對(duì)溫度變化適應(yīng)性強(qiáng)的陶瓷材料。

阿爾卑斯電氣將在08年9月30日～10月4日于幕張Messe會(huì)展中心舉辦的“CEATEC JAPAN 2008”上展出此次的MEMS壓力傳感器。