測量氣體的質量流量將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量測量電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥,通過閉環控制來控制通過的流量,并使之與設定的流量相等。
分流器決定主通道的流量熱式氣體質量流量計??刂破鬏敵龅牧髁繖z測到的電壓與流過通道的氣體質量成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體質量流量控制器的檢測范圍為滿刻度(量程比為50:1),流量分辨率為0.1%滿刻度。
著氣體的流量增大,帶走的熱量就上升,那么溫度傳感器自身的溫度就會下降。而溫度傳感器前后的溫度變化值與通過該管路內的氣體的質量流量恰恰是成線性比例的,由此工作原理則可推算出氣體的質量流量。顧名思義,就是在保持溫度差不變的情況下,通過測量加熱功率的變化來計算氣體的質量流量。
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