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淺談真空等離子清洗機的原理及清洗過程

來源:昆山琦凡精密儀器有限公司   2022年03月16日 10:45  
  真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔體及相關機械等幾個部分構成。是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。
  
  清洗機利用兩個電極形成電磁場,用真空泵實現有效的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子之間的間距及分子或離子的自由運動的距離也越來越長,受磁場作用發生碰撞而形成等離子體并產生輝光。
  
  等離子體在電磁場內的空間運動,并不斷轟擊被處理物體表面,去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有機物以及其它化學物質,以此達到表面處理清洗和刻蝕的效果。
  
  真空等離子清洗機整個清洗過程大致如下:
  
  1、首先將被清洗的工件送入真空機并加以固定,啟動運行裝置開始排氣,讓真空腔內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要幾分鐘。
  
  2、然后向真空室內引入等離子清洗用的氣體,并保持腔內壓強穩定。根據清洗材料的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。
  
  3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿并通過輝光放電而發生等離子化和產生等離子體,讓在真空腔內產生的等離子體籠罩住被處理的工件并開始清洗作業,一般清洗處理持續幾十秒到幾十分鐘不等,根據處理材質的不同而定。
  
  4、清洗完畢后切斷電源,并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出,清洗結束。

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