X線管只有在高度真空情況下才能正常工作。一般在1.33kPa-0.67kPa以上，高的在1.33kPa·0.93kPa檢查真空度有兩種方法：一種是高頻法，利用高頻脈沖法(超短波或高頻發生器)判斷管內真空度是否良好。用超短波做試驗時，將管子置于超短波兩電極之間通電，熒光分析X射線管若管子發生輝光，說明管子漏氣了，輝光的濃淡表示漏氣的嚴重程度，若大量漏氣則無輝光產生，通電后燈絲易燒毀。另一種是冷高壓法，X線管燈絲不加熱，在X線管兩端加上高壓。高壓不能過高，只能是工作電壓的30％-35％，若管子內部發生輝光，說明此管子漏氣，漏氣嚴重時管子將產生火花放電。

　　檢查外包裝，看有無損傷和缺陷，然后再檢查管壁內部有無不正常現象。安檢X射線管當產品表面膜層太薄，無法使用常規測試進行厚度測量，可選擇XPS進行分析，利用XPS的深度濺射功能測試≥20nm膜厚厚度。X射線光電子能譜技術是一種表面分析方法， 結構分析X射線管使用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來，被光子激發出來的電子稱為光電子，可以測量光電子的能量和數量，從而獲得待測物組成。檢查陰極接線、燈絲、銹痕、污物、結構等。要求陰極接線正確；燈絲位置端正，周圍無異常顏色，通電能亮；陰極沒有銹痕和污物；陰極結構無松動現象。