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單晶硅壓力變送器的工作原理

來源:天津宇創屹鑫科技有限公司   2022年04月25日 15:10  

    傳感器模塊采用全焊接技術,內部擁有一個整體化的過載膜片,一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連,傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連,壓力通過隔離膜片和填充液,傳遞給傳感器內的硅芯片,使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化,從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比,再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。

測量檢查

拆下法蘭,檢查敏感部件隔離膜片有無變形,破損和漏油現象發生。

拆下補償板,不取出敏感部件,檢查插針對殼體的絕緣電阻,在電壓不超過100V的情況下,絕緣電阻不應小于100MΩ。

接通電路和氣路,當壓力信號為量程上限值時,關閉氣源,輸出電壓和讀數值應穩定不動。如果輸出電壓下降,則說明變送器有泄漏,可用肥皂水檢查出泄漏部位。


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