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納米粒子的制備方法很多，可分為物理方法和化學方法。

物理方法

1、真空冷凝法

用真空蒸發、加熱、高頻感應等方法使原料氣化或形成等粒子體，然后驟冷。其特點純度高、結晶組織好、粒度可控，但技術設備要求高。

2、物理粉碎法

通過機械粉碎、電火花爆炸等方法得到納米粒子。其特點操作簡單、成本低，但產品純度低，顆粒分布不均勻。

3、機械球磨法

采用球磨方法，控制適當的條件得到純元素、合金或復合材料的納米粒子。其特點操作簡單、成本低，但產品純度低，顆粒分布不均勻。

化學方法

1、氣相沉積法

利用金屬化合物蒸氣的化學反應合成納米材料。其特點產品純度高，粒度分布窄。

2、沉淀法

把沉淀劑加入到鹽溶液中反應后，將沉淀熱處理得到納米材料。其特點簡單易行，但純度低，顆粒半徑大，適合制備氧化物。

3、水熱合成法

高溫高壓下在水溶液或蒸汽等流體中合成，再經分離和熱處理得納米粒子。其特點純度高，分散性好、粒度易控制。

4、溶膠凝膠法

金屬化合物經溶液、溶膠、凝膠而固化，再經低溫熱處理而生成納米粒子。其特點反應物種多，產物顆粒均一，過程易控制，適于氧化物和Ⅱ～Ⅵ族化合物的制備。

5、微乳液法

兩種互不相溶的溶劑在表面活性劑的作用下形成乳液，在微泡中經成核、聚結、團聚、熱處理后得納米粒子。其特點粒子的單分散和界面性好，Ⅱ～Ⅵ族半導體納米粒子多用此法制備。

6、氣相燃燒合成法

氣相燃燒合成是指在氣體燃燒火焰中形成納米顆粒。該法不僅可以合成氧化物納米顆粒，而且通過氣體的無氧燃燒，可以合成金屬氮化物、碳化物等非氧化物納米顆粒，氣相燃燒合成已應用于批量生產納米石墨、超細氧化鈦涂料。合成的納米顆粒粒度細，粒子團聚少，粒度分布窄，產物純度高。