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能量色散X熒光光譜儀（Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer，簡稱ED-XRF）是一種用于材料分析的儀器，它通過測量樣品吸收入射X射線后產生的熒光輻射來確定樣品中各種元素的含量。其原理涉及X射線的產生、樣品的激發和熒光輻射的檢測。以下是ED-XRF的工作原理的基本步驟：

1. X射線產生：ED-XRF儀器通過使用X射線管產生X射線。在X射線管中，電子被加速并撞擊靶材料，通常是鎢（W）或鉭（Ta）。這些碰撞會導致靶材料的電子從內層軌道躍遷到外層軌道，釋放出能量，并以X射線的形式輻射出去。

2. 樣品激發：產生的X射線束通過樣品，X射線與樣品中的原子相互作用。當X射線束進入樣品后，它會被樣品中的原子吸收，并使內層電子躍遷到激發態。這個過程中，原子吸收的X射線能量與原子核和電子的能級差有關，因此各個元素能吸收能譜。

3. 熒光輻射：當樣品中的內層電子躍遷到激發態后，它們會迅速回到基態，并釋放出X射線輻射，稱為熒光輻射。熒光輻射的能量與原子核和電子的能級差有關，因此每個元素都會產生特定能量的熒光輻射線。這些熒光輻射線的能量可以用來識別元素。

4. 能譜檢測：ED-XRF儀器使用能量色散檢測器來測量熒光輻射的能量。這種檢測器可以分辨不同能量的X射線，并將其轉化為電信號。由于不同元素產生的熒光輻射具有不同的能量，因此檢測器可以記錄不同能量的峰值，每個峰值對應于一個元素。

5. 數據分析：通過分析檢測到的熒光輻射峰值的能量和強度，可以確定樣品中不同元素的含量。通常，使用已知元素的標準樣品來校準儀器，以便將熒光輻射的能量與元素濃度關聯起來。

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